一、硅片类

1~12英寸半导体级直拉单晶硅锭、研磨硅片和抛光硅片、区熔硅片,并可提供 半导体硅片单面/双面抛光、减薄、切割、镀膜等加工服务;

二、氧化硅片

3-8英寸直拉单晶氧化硅片;

氧化层厚度:常规50-5000nm厚度均可定制;

三、SOI绝缘体上硅

4-8英寸,Simox、bonding、smart cut等SOI硅片;

    提供100mm, 125mm, 150mm以及200mmSOI圆片。产品系列包括Smart cut, 键合圆片,高剂量和低剂量SIMOX圆片等,并可根据用户需求外延到所需的顶 层硅厚度。。

    顶层硅的厚度可根据应用的不同而变化。借助精密仪器,键合技术以及外 延设备。

四、EPI功率器件用硅外延片

4-8英寸EPI硅片;

    外延片(EPI)指的是在衬底上生长出的半导体薄膜,薄膜主要由P型,量子阱,N型三个部分构成。现 在主流的外延材料是氮化镓(GaN),衬底材料主要有蓝宝石。硅,碳化在三种,量子阱般为5个通常用的生 产工艺为金属有机物气相外延(MOCVD)。

    目前在硅衬底上可以做普通外延层,多层结构外延层,超高阻外延层,超厚外延层,外延层电阻率可 达一千欧姆以上,导电类型为:P/P++, N/N++, N/N+, N/N+/N++, N/P/P, P/N/N+等多种类型。 硅外延晶片是用于制造广泛的半导体器件的核心材料,在消费、工业、军事和空间电子学中都有应用。。

五、切割各种尺寸的异性硅片,特殊厚度硅片;

六、Rectifier系列产品

七、MOS 类产品

八、各种半导体包装材料,晶舟盒、单片盒等。





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