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研磨片:

PRODUCT DIAMETER CRYSTAL TYPE DOPANT ORIENTATION THICKNESS RESISTIVITY
Lapped 150 CZ N PH <111> 525 20~45
Lapped 100 CZ P B <100> 360 0.003~0.004
Lapped 125 CZ N PH <111> 430 3.2~4.5
Lapped 76 CZ N PH <111> 300 5.3~7.1
Lapped 100 MCZ N PH <111> 380 15~26

抛光片:

PRODUCT DIAMETER CRYSTAL TYPE DOPANT ORIENTATION THICKNESS RESISTIVITY
Polished 150 CZ N PH <111> 525 25~38
Polished 125 CZ P B <111> 430 0.005~0.006
Polished 76 CZ N PH <100> 280 3.2~4.5
Polished 100 MCZ N PH <111> 360 2.3~4.1

硅锭:

DIAMETER CRYSTAL TYPE DOPANT ORIENTATION RESISTIVITY
100 CZ P B <111> 0.02~0.035




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